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供应定制特气柜,钢瓶柜,气瓶柜 ,gas cabinet

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关键字 特气柜 钢瓶柜 气瓶柜 gas cabinet 1. 特气柜(gas cabinet) 2. 特气柜尺寸:800长×540宽×1800高 3. pn2入口压力 80psi,1/4 vcr接口 gn2入口压力 80psi,1/4 vcr接口 cda入口压力 4-10bar,1/4卡套接口 vent 1/2vcr接口 工艺气体出口1/4 vcr接口 4. 特气柜柜体换气量:sih4-1200次/小时,其余300次/小时 5. 根据实际需要可安装称重、报警、加热装置 6. 按操作方式分为:手动切换、半自动切换。 7. 阀门盘配件全部采用进口电子级材料,材质为ss316l不锈钢。 8. 气体管路及焊接件加工全部采用swagelok自动轨道焊机焊接。 9. 气体管路设计合理,具备抽空、回充、压力指示、排放、检漏、预留接口等。 10. 完善的安全报警装置,具有气体泄漏检测报警(如sih4、ph3、hcl等泄漏报警)报警信号被触发时,自动切断。 11. 气瓶柜设计美观,紧凑,安全,,可按照客户要求定制。 特气柜主要应用在 为mocvd、pecvd、刻蚀机等设备供应有毒有害易燃易爆气体上,涉及半导体、太阳能光伏、生物工程、微电子、化工等行业。 我们的特气设备有:电子级特气柜(gascabinet或称钢瓶柜、气瓶柜),气体流量控制箱(gas box by mfc),气体配比箱(gas box by flowmeter),阀门箱(vmb),阀门盘(vmp),气体侦测器(gasdetector),废气处理设备(scrubber)。我们的产品有:美国parker调压阀、fpa接头,日本jsk卡套接头,日本fujikinvcr接头,高纯kuze/asflowba/ep不锈钢管,高纯nks压力表,气体压力传感器,气体压力开关,高纯parker/富士金隔膜阀,高纯气体过滤器, 气体质量流量计。 欢迎来电咨询
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